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RTS-2/RTS-2A型便攜式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，于測(cè)量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。
儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀(guān)、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。如有需要可加配測(cè)試臺(tái)使用。
本儀器廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能單晶（多晶）生產(chǎn)廠(chǎng)家為硅材料的分選測(cè)試，半導(dǎo)體材料廠(chǎng)、半導(dǎo)體器件廠(chǎng)、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。
便攜式四探針測(cè)試儀按測(cè)量范圍可選配RTS-2型或RTS-2A型，區(qū)別：測(cè)量范圍不一樣。
技術(shù)參數(shù)：
RTS-2測(cè)量范圍 | 電阻率：0.01～1999.9Ω.cm； 方塊電阻：0.1～19999Ω/□； |
RTS-2A測(cè)量范圍 | 電阻率：0.001～199.99Ω.cm； 方塊電阻：0.01～1999.9Ω/□； |
RTS-2恒流源 | 電流量程分為100μA、1mA兩檔，各檔電流連續(xù)可調(diào) |
RTS-2A恒流源 | 電流量程分為1mA、10mA兩檔，各檔電流連續(xù)可調(diào) |
數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV； 輸入阻抗：>1000MΩ； 精度：±0.1% ； 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動(dòng)顯示； |
四探針探頭基本指標(biāo) | 間距：1±0.01mm； 針間絕緣電阻：≥1000MΩ； 機(jī)械游移率：≤0.3%； 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm； 探針壓力：5～16 牛頓(總力)； |
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) | (見(jiàn)探頭附帶的合格證) |
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差 | 1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
整機(jī)測(cè)量zui大相對(duì)誤差 | (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5% |
整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤5% |
外型尺寸 | 125mm(寬)*145mm(高)*245mm(深) |
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃； 相對(duì)濕度：≤65%； 無(wú)高頻干擾； 無(wú)強(qiáng)光直射； |
| 配置 | 四探針測(cè)試儀主機(jī)、FT-202型四探針探頭 | 4500/套 | ||||||
| 配置 | 四探針測(cè)試儀主機(jī)、FT-202型四探針探頭、S-2B型測(cè)試臺(tái) | 5800/套 | ||||||
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